Pour l’étude de l’ensemble des éléments présents dans une enceinte ou obtenus dans votre système
CVD / PÉCVD / RIÉ / LPCVD / MOCVD
- Dépôt sous vide, gravure / érosion par plasma
- Dépôts après arrachement
- Études de contamination
- Détection rapide in-situ de la pression de travail
- Détection de fuites / fuites virtuelles / désorption
- Dégazage / étuvage / performance de pompage
- Contaminants de l’enceinte / de gaz lors de procédés
Caractéristiques de l’analyseur de gaz HPR-30, un analyseur de gaz compact pour le contrôle des gaz résiduels et des procédés mettant en oeuvre le vide:
- Structure compacte de l’appareil de paillasse / du chariot mobile / du support de console
- Orifice direct ré-entrant avec un pompage différentiel permettant une sensibilité et une vitesse de réponse optimales
- Échantillonnage continu de 1 mbar à 10-4 mbar
- Grande sensibilité (jusqu’à 5 ppb), domaine de masse jusqu’à 1000 uma
- Ionisation douce pour l’analyse de molécules organiques complexes / les études par APMS.
- Stabilité (moins de ±0,5% de variation globale pic à pic sur 24 h)
- Logiciel MASsoft de contrôle via une interface RS232, RS485 ou un réseau Éthernet LAN
- Vanne pneumatique de contrôle pour un fonctionnement automatique avec annulation manuelle et isolation de sauvegarde en cas de panne d’électricité ou de surpression
- Acquisition des données et analyse de fonctionnement (panneau d’affichage local des alarmes) automatiques et simultanées
